本发明公开了一种基于射频放电的正负离子源，包括管体，管体中部连通有进气管；管体上缠绕有放电线圈，放电线圈依次与匹配网络和射频电源电连接；管体的一端与第一盖板密封连接，第一盖板通过绝缘介质连接有正离子引出栅极；正离子引出栅极与直流电源的负极电连接；管体的另一端与第二盖板密封连接，第二盖板通过侧壁与第三盖板密封连接，第三盖板通过绝缘介质连接有负离子引出栅极；负离子引出栅极与直流电源的正极电连接。本发明可以使正离子与电子及负离子可以被同时分别引出，解决了背板溅射出的粒子污染离子源及背板发热严重的问题。