发明授权
- 专利标题: 拼接式精细金属掩膜板及其制作方法
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申请号: CN201710453418.1申请日: 2017-06-15
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公开(公告)号: CN107354425B公开(公告)日: 2019-09-10
- 发明人: 沐俊应
- 申请人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 专利权人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 代理机构: 深圳市德力知识产权代理事务所
- 代理商 林才桂
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/24 ; H01L51/56
摘要:
本发明提供一种拼接式精细金属掩膜板及其制作方法。所述拼接式精细金属掩膜板将多个子掩膜板(3)对应安装在掩膜框(1)的多个安装槽(12)内拼接成大尺寸的掩膜板,于每一安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间设置数个独立控制的第一压电体(51),于每一安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间设置数个独立控制的第二压电体(52),相应的第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生精确的延伸或收缩使得子掩膜板(3)微移动来调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度,能够提高精细金属掩膜板的精度及良率,降低制作成本,适用于制作大尺寸高解析度OLED显示器。
公开/授权文献
- CN107354425A 拼接式精细金属掩膜板及其制作方法 公开/授权日:2017-11-17
IPC分类: