拼接式精细金属掩膜板及其制作方法
摘要:
本发明提供一种拼接式精细金属掩膜板及其制作方法。所述拼接式精细金属掩膜板将多个子掩膜板(3)对应安装在掩膜框(1)的多个安装槽(12)内拼接成大尺寸的掩膜板,于每一安装槽(12)底面与子掩膜框(31)底面之间设置数个独立控制的第一压电体(51),于每一安装槽(12)侧面与子掩膜框(31)侧面之间设置数个独立控制的第二压电体(52),相应的第一压电体(51)与第二压电体(52)在通电状态下受控发生精确的延伸或收缩使得子掩膜板(3)微移动来调节各个子掩膜板(3)的水平度与位置精度,能够提高精细金属掩膜板的精度及良率,降低制作成本,适用于制作大尺寸高解析度OLED显示器。
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