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发明授权
CN107360730B 太阳能电池的制造方法 有权 复审申请

太阳能电池的制造方法
摘要：
本发明的目的在于，提供一种能够低制造成本、不对基板造成损伤且高生产效率地成膜膜质良好的钝化膜的太阳能电池的制造方法。而且，在本发明中，制作P型硅基板(4)，将包含铝的溶液雾化，在非真空下将雾化后的溶液对P型硅基板(4)的背面进行喷雾，由此将由氧化铝膜构成的背面钝化膜(5)成膜在P型硅基板(4)的背面上。此后，执行对P型硅基板(4)以及背面钝化膜(5)的界面照射紫外光(21)的光照射处理。
摘要（英）：

In the present invention, a p-type silicon substrate is produced, a solution containing aluminum is misted, and the misted solution is sprayed onto the back surface of the p-type silicon substrate under non-vacuum to form a back surface passivation film made of the aluminum oxide film on the back surface of the p-type silicon substrate. Thereafter, a light irradiation processing in which an interface between the p-type silicon substrate and the back surface passivation film is irradiated with ultraviolet light is performed.

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