基于二维电子气的低功耗氢气传感器及其制造方法
摘要:
本发明提供一种基于二维电子气的低功耗氢气传感器的制造方法,所述氢气传感器包含一个二维电子气膜用于检测H2,加热器保持二维电子气膜的加热温度,当传感器暴露于H2气氛中时,二维电子气膜的导电率增加,通过检测前后电流的变化即可获得气氛中H2的浓度,本发明传感器的灵敏度可以通过二维电子气膜的温度(200~400℃)进行强化。本发明仅仅通过几个引出梁支撑二维电子气膜,使其悬浮在空气中,加热器的热量基本都用于维持二维电子气膜的温度,其只能通过引出梁传递至硅衬底中,使得硅衬底温度不会有太大的提高,大大提高了热量的利用率,实现器件的低功耗工作。
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