- 专利标题: 基于二维电子气的低功耗氢气传感器及其制造方法
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申请号: CN201610352710.X申请日: 2016-05-24
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公开(公告)号: CN107421994B公开(公告)日: 2019-11-15
- 发明人: 刘源 , 保罗·邦凡蒂
- 申请人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室
- 专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人: 上海新昇半导体科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 罗泳文
- 主分类号: G01N27/04
- IPC分类号: G01N27/04
摘要:
本发明提供一种基于二维电子气的低功耗氢气传感器的制造方法,所述氢气传感器包含一个二维电子气膜用于检测H2,加热器保持二维电子气膜的加热温度,当传感器暴露于H2气氛中时,二维电子气膜的导电率增加,通过检测前后电流的变化即可获得气氛中H2的浓度,本发明传感器的灵敏度可以通过二维电子气膜的温度(200~400℃)进行强化。本发明仅仅通过几个引出梁支撑二维电子气膜,使其悬浮在空气中,加热器的热量基本都用于维持二维电子气膜的温度,其只能通过引出梁传递至硅衬底中,使得硅衬底温度不会有太大的提高,大大提高了热量的利用率,实现器件的低功耗工作。
公开/授权文献
- CN107421994A 基于二维电子气的低功耗氢气传感器及其制造方法 公开/授权日:2017-12-01