发明公开
- 专利标题: 半导体元件及其制造方法
- 专利标题(英): SEMICONDUCTOR ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
-
申请号: CN201680019663.5申请日: 2016-04-01
-
公开(公告)号: CN107431001A公开(公告)日: 2017-12-01
- 发明人: 砂本昌利 , 上野隆二
- 申请人: 三菱电机株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人: 三菱电机株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 金春实
- 优先权: 2015-077528 2015.04.06 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/060937 2016.04.01
- 国际公布: WO2016/163319 JA 2016.10.13
- 进入国家日期: 2017-09-29
- 主分类号: H01L21/288
- IPC分类号: H01L21/288 ; C23C18/16 ; C23C18/36 ; C23C18/42 ; C23C18/52 ; H01L21/52
摘要:
本发明的半导体元件(1)在表面背面导通型基板(2)的表面侧电极(3a)以及背面侧电极(3b)上形成有非电解镍磷镀层(4)以及非电解镀金层(5)。表面侧电极(3a)以及背面侧电极(3b)包括铝或者铝合金。另外,形成于表面侧电极(3a)上的非电解镍磷镀层(4)的厚度相对于形成于背面侧电极(3b)上的非电解镍磷镀层(4)的厚度的比例是1.0以上且3.5以下。本发明的半导体元件(1)在通过钎焊安装时能够防止在焊料内部产生空孔。
公开/授权文献
- CN107431001B 半导体元件及其制造方法 公开/授权日:2020-07-17
IPC分类: