本发明提供一种微米线阵列光探测器及其制备方法。本发明提供的微米线阵列光探测器包括衬底、外延结构和电极结构；所述衬底包括表面设置有多个沟槽的硅片；所述沟槽呈平行阵列分布；所述沟槽之间的硅片上表面设置有绝缘层；所述外延结构包括外延生长于所述沟槽内侧壁的氮化镓微米线，每个沟槽的两个内侧壁分别生长一根氮化镓微米线，所述氮化镓微米线与沟槽方向一致，多个沟槽内的氮化镓微米线形成平行的微米线阵列；所述电极结构包括覆盖于所述氮化镓微米线两端的一对肖特基接触型金属电极。本发明提供的微米线阵列光探测器具有较高的灵敏度和响应速度。