微孔负电极结构的阻挡杂质带探测器的制备方法及探测器
摘要:
本发明提供了一种微孔负电极结构的砷化镓掺碲阻挡杂质带太赫兹探测器的制备方法,包括微孔制作步骤、电极制备步骤等。本发明还提供了一种微孔负电极结构的砷化镓掺碲阻挡杂质带太赫兹探测器,是所述微孔负电极结构的砷化镓掺碲阻挡杂质带太赫兹探测器的制备方法制成的太赫兹探测器。本发明的优点在于:通过刻蚀微孔结构,减小了刻蚀面积,从而减小了因刻蚀损伤造成的缺陷,进而降低了探测器的暗电流,提高了探测率;将负电极制备在微孔内的高导砷化镓衬底上,缩短了光生载流子的输运路径,降低了光生载流子被高导砷化镓衬底中杂质和缺陷俘获的几率,增强了光生载流子的收集效率,从而进一步提高了探测器的探测率。
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