发明授权
CN107475680B 一种基板承载装置及蒸镀设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种基板承载装置及蒸镀设备
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申请号： CN201710757002.9申请日： 2017-08-29
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公开(公告)号： CN107475680B公开(公告)日： 2020-08-25
- 发明人: 邹清华 , 段廷原 , 姚固 , 朱儒晖
- 申请人： 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥鑫晟光电科技有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人： 京东方科技集团股份有限公司,合肥鑫晟光电科技有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构： 北京中博世达专利商标代理有限公司
- 代理商 申健
- 主分类号： C23C14/50
- IPC分类号： C23C14/50 ; C23C14/24
摘要：
本发明公开了一种基板承载装置及蒸镀设备，涉及显示装置制造技术领域，为解决现有的基板承载装置更换粘性件用时较长的问题而发明。该基板承载装置，包括基底和承载条，所述承载条与所述基底可拆卸连接，所述承载条的承载面上设有粘性件，在所述承载条与所述基底处于连接状态下，与所述基底连接的所有所述承载条的承载面形成平坦表面。本发明可用于OLED等基板的承载和传送。
公开/授权文献
- CN107475680A 一种基板承载装置及蒸镀设备 公开/授权日：2017-12-15
IPC分类:
