本发明提供采用价廉的过滤器进行真空、减压精炼处理的集尘，不产生过滤器的损伤、烧损等。用上游侧管道5和下游侧管道6依次连接真空、减压精炼容器1、带过滤器2的干式集尘机3、减压排气装置4，在上游侧管道5上设置闸门阀7。在真空、减压精炼处理开始时，将非氧化性气体注入闸门阀7上游侧，将上游侧的氧气基本上置换后密闭上游侧，在上游侧的密闭状态完成后，打开闸门阀7，使集尘机3工作。在真空、减压精炼处理结束时，关闭闸门阀7，向其上游侧只注入非氧化性气体并复压后向大气开放，在真空、减压精炼处理结束后到下一次的真空、减压精炼开始之间的待机期间内，最好关闭集尘机3侧的开口部。