- 专利标题: 薄膜晶体管、薄膜晶体管制备方法和阵列基板
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申请号: CN201710749797.9申请日: 2017-08-28
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公开(公告)号: CN107482055B公开(公告)日: 2023-12-01
- 发明人: 王国英 , 宋振 , 孙宏达
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 罗瑞芝; 陈源
- 主分类号: H01L29/41
- IPC分类号: H01L29/41 ; H01L21/336 ; H01L29/786
摘要:
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法和阵列基板。该薄膜晶体管包括设置在衬底上方的栅极、有源层、源极和漏极,所述有源层位于中心区域,所述源极和所述漏极分别与所述有源层连接,所述栅极与所述有源层至少部分同层设置、且所述栅极与所述有源层至少两面相隔绝缘层相对设置。该薄膜晶体管的宽长比Weff/L增大,从而有效提高了器件的开态电流Ion,提高了氧化物薄膜晶体管电流驱动能力;另外,还考虑了电极对有源层的遮光效果,最大限度的减小了光照对器件VTH漂移的影响,提高了薄膜晶体管的负偏压光照稳定性。
公开/授权文献
- CN107482055A 薄膜晶体管、薄膜晶体管制备方法和阵列基板 公开/授权日:2017-12-15
IPC分类: