薄膜晶体管、薄膜晶体管制备方法和阵列基板
摘要:
本发明属于显示技术领域,具体涉及一种薄膜晶体管、薄膜晶体管的制备方法和阵列基板。该薄膜晶体管包括设置在衬底上方的栅极、有源层、源极和漏极,所述有源层位于中心区域,所述源极和所述漏极分别与所述有源层连接,所述栅极与所述有源层至少部分同层设置、且所述栅极与所述有源层至少两面相隔绝缘层相对设置。该薄膜晶体管的宽长比Weff/L增大,从而有效提高了器件的开态电流Ion,提高了氧化物薄膜晶体管电流驱动能力;另外,还考虑了电极对有源层的遮光效果,最大限度的减小了光照对器件VTH漂移的影响,提高了薄膜晶体管的负偏压光照稳定性。
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