发明授权
- 专利标题: 鳍式场效应管的形成方法
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申请号: CN201610420451.X申请日: 2016-06-13
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公开(公告)号: CN107492501B公开(公告)日: 2020-03-10
- 发明人: 李勇
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 , 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 高静; 吴敏
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336
摘要:
一种鳍式场效应管的形成方法,包括:提供包括有效区、位于有效区两侧的第一边缘区、以及位于第一边缘区一侧的第二边缘区的基底,基底上形成有鳍部;形成覆盖有效区鳍部上以及第一边缘区鳍部上的第一图形层;刻蚀去除第二边缘区第一厚度的鳍部;形成覆盖有效区鳍部上的第二图形层;以第二图形层为掩膜,刻蚀去除第一边缘区第二厚度的鳍部,且第二厚度小于第一厚度。本发明通过减小紧挨有效区的第一边缘区基底上鳍部被刻蚀去除的量,从而减小或避免了第二图形层受到刻蚀损伤,从而防止有效区基底上的鳍部暴露在刻蚀环境中,避免有效区基底上鳍部受到刻蚀损伤,保证有效区基底上的鳍部具有良好的形貌,相应使得形成的鳍式场效应管的性能得到改善。
公开/授权文献
- CN107492501A 鳍式场效应管的形成方法 公开/授权日:2017-12-19