半导体结构及其制造方法
摘要:
一种半导体结构及其制造方法,所述方法包括:提供基底,基底包括衬底、以及凸出于衬底的鳍部,衬底包括第一区域和第二区域,第一区域和第二区域用于形成不同类型的晶体管;形成覆盖鳍部顶部和侧壁的栅介质层;在第一区域和第二区域交界处的栅介质层上形成阻挡层,阻挡层至少覆盖交界处第二区域的栅介质层;在第二区域的栅介质层和阻挡层上形成第二功函数层;在第一区域的栅介质层上形成第一功函数层。本发明先在第一区域和第二区域交界处的栅介质层上形成阻挡层,阻挡层至少覆盖交界处第二区域的栅介质层,所述阻挡层可以减小第一功函数层中的金属离子在第二功函数层中的扩散程度,从而可以避免对第二功函数层的性能造成不良影响。
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