• 专利标题: 一种基于场效应晶体管结构的pH值传感器件及其制造方法
  • 申请号: CN201710575314.8
    申请日: 2017-07-14
  • 公开(公告)号: CN107505376B
    公开(公告)日: 2020-02-21
  • 发明人: 张睿赵毅
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
  • 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
  • 代理商 刘静; 邱启旺
  • 主分类号: G01N27/414
  • IPC分类号: G01N27/414
一种基于场效应晶体管结构的pH值传感器件及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种基于场效应晶体管结构的pH值传感器件及其制造方法。制造该器件首先在绝缘层上半导体衬底的半导体层表面沉积前栅氧化层和栅层,通过刻蚀前栅氧化层和栅层形成栅极结构;其次在栅极结构两侧的绝缘层上半导体衬底的半导体层中摻杂形成源漏结构,栅极结构和源漏结构共同构成场效应晶体管结构;进一步地,在绝缘层上硅衬底的背面进行光刻,并刻蚀支撑衬底和埋氧化层,直至半导体层的下表面,并且在刻蚀后的半导体层的下表面沉积背栅氧化层,完成pH值传感器件的制备。本发明利用待测溶液与场效应晶体管背栅的接触,在背栅表面形成双电层结构,通过不同pH值溶液中背栅表面双电层的Zeta电势的变化,改变场效应晶体管的阈值电压,进一步导致传感器件在固定偏置电压下的电阻变化,实现溶液pH值的测试。
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