- 专利标题: 一种中心支撑准悬浮式MEMS芯片封装结构的制作方法
- 专利标题(英): Production method for centre support quasi-suspension type MEMS (Micro Electro Mechanical System)
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申请号: CN201710702647.2申请日: 2017-08-16
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公开(公告)号: CN107512698A公开(公告)日: 2017-12-26
- 发明人: 凤瑞
- 申请人: 北方电子研究院安徽有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市财院路10号
- 专利权人: 北方电子研究院安徽有限公司
- 当前专利权人: 安徽北方微电子研究所集团有限公司
- 当前专利权人地址: 233040 安徽省蚌埠市财院路10号
- 代理机构: 南京纵横知识产权代理有限公司
- 代理商 耿英; 董建林
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81C1/00
摘要:
本发明公开了中心支撑准悬浮式MEMS芯片封装结构的制作方法,采用高温氧化的方法在芯片硅结构表面上形成一层二氧化硅保护层,然后对芯片底部的二氧化硅保护层进行图形化,形成刻蚀掩膜。采用各向异性刻蚀工艺在MEMS芯片的衬底上刻蚀出一个面积较大的中心支撑结构和若干个面积较小的辅助支撑结构,然后将MEMS芯片粘胶或键合固定到陶瓷管壳腔体内进行金属引线键合,将含MEMS芯片的陶瓷管壳整体放入刻蚀腔体内,再采用各向同性刻蚀气体进行刻蚀,将辅助支撑结构完全刻蚀去除,保留一部分的中心支撑结构不被刻蚀去除。通过在硅衬底上加工出中心支撑结构,将MEMS芯片支撑近似悬浮于封装管壳内,大幅减小MEMS芯片上的封装应力,实现MEMS芯片的低应力封装。该方法具有封装工艺简单、不显著增加封装成本,易于实现的优点。
公开/授权文献
- CN107512698B 一种中心支撑准悬浮式MEMS芯片封装结构的制作方法 公开/授权日:2019-06-04