发明授权
- 专利标题: 一种PDMS结构的高保型转移方法
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申请号: CN201710480011.8申请日: 2017-06-22
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公开(公告)号: CN107522163B公开(公告)日: 2019-07-05
- 发明人: 何洋 , 刘少维 , 杨儒元 , 周庆庆 , 曾行昌 , 朱宝 , 徐玉坤 , 刘谦 , 李小婷 , 王颖 , 苑伟政 , 吕湘连
- 申请人: 西北工业大学
- 申请人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市友谊西路127号
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 陈星
- 优先权: 2016108506294 20160926 CN
- 主分类号: B81B7/02
- IPC分类号: B81B7/02 ; B81C1/00
摘要:
本发明公开了一种PDMS结构的高保型转移方法,可以用于PDMS柔性多层微纳结构的制备。该方法首先制备待转移PDMS结构的硅模板2;制作PDMS转移层5;沿硅模板中央缓缓试滴准量的PDMS溶液,待其从表面中央往四周散开,缓缓流进各个结构空腔内,要求PDMS溶液不溢出硅片模板表面以外区域;使用PDMS转移层5,置于硅模板2有PDMS结构的一面,均匀施加压力,放入恒温箱中固化后取出,然后将硅模板2剥离,这样硅模板2上各结构空腔内的PDMS结构就保型转移至PDMS转移层5上。本发明工艺过程相对简单,为制备多层微纳结构工艺提供了重要保障,也为转移工艺在其他微纳结构制备工艺的应用提供了新的解决方案。
公开/授权文献
- CN107522163A 一种PDMS结构的高保型转移方法 公开/授权日:2017-12-29