一种PDMS结构的高保型转移方法
摘要:
本发明公开了一种PDMS结构的高保型转移方法,可以用于PDMS柔性多层微纳结构的制备。该方法首先制备待转移PDMS结构的硅模板2;制作PDMS转移层5;沿硅模板中央缓缓试滴准量的PDMS溶液,待其从表面中央往四周散开,缓缓流进各个结构空腔内,要求PDMS溶液不溢出硅片模板表面以外区域;使用PDMS转移层5,置于硅模板2有PDMS结构的一面,均匀施加压力,放入恒温箱中固化后取出,然后将硅模板2剥离,这样硅模板2上各结构空腔内的PDMS结构就保型转移至PDMS转移层5上。本发明工艺过程相对简单,为制备多层微纳结构工艺提供了重要保障,也为转移工艺在其他微纳结构制备工艺的应用提供了新的解决方案。
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