发明授权
CN107529380B 水下全柔性微型热敏薄膜电阻传感器阵列及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 水下全柔性微型热敏薄膜电阻传感器阵列及其制作方法
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申请号: CN200910125439.6申请日: 2009-12-24
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公开(公告)号: CN107529380B公开(公告)日: 2012-05-02
- 发明人: 马炳和 , 任进忠 , 杨少华 , 傅博 , 邓进军 , 苑伟政 , 姜澄宇
- 申请人: 西北工业大学
- 申请人地址: 陕西省西安市友谊西路127号646信箱
- 专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人: 西北工业大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市友谊西路127号646信箱
- 代理机构: 西北工业大学专利中心
- 代理商 顾潮琪
- 主分类号: G01K7/22
- IPC分类号: G01K7/22