保护膜形成方法及设备
摘要:
本发明提供一种保护膜形成方法,包括以下步骤:将保护膜材料涂布在待形成器件上;在采用固化装置固化所述保护膜材料的同时采用压合装置给所述保护膜材料的上表面施加压合力,形成所述保护膜。本发明还提供一种保护膜形成设备。本发明可以现场制作保护膜,从而可以随时调整尺寸、减少工艺时间且提高产品良率。
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