发明授权
- 专利标题: 一种密封铯束管的真空设计方法
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申请号: CN201710887510.9申请日: 2017-09-27
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公开(公告)号: CN107577138B公开(公告)日: 2020-01-10
- 发明人: 陈江 , 成大鹏 , 马寅光 , 张涤新 , 崔敬忠 , 杨炜 , 涂建辉 , 王骥 , 黄良玉 , 朱宏伟 , 郑宁 , 杨军 , 高玮
- 申请人: 兰州空间技术物理研究所
- 申请人地址: 甘肃省兰州市城关区渭源路97号
- 专利权人: 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人: 兰州空间技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 甘肃省兰州市城关区渭源路97号
- 代理机构: 北京理工大学专利中心
- 代理商 代丽; 仇蕾安
- 主分类号: G04F5/14
- IPC分类号: G04F5/14
摘要:
本发明公开了一种密封铯束管的真空设计方法。使用本发明能够以较小的成本获得理想的真空度或压强,提高了铯束管的研制成功率。本发明首先根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系曲线,获得铯束管的工作压强范围,然后根据铯束管的静态放置时间要求,获得铯束管各组件在静态放置时的材料单位时间出气量及材料单位面积平均出气率,并结合加电后铯炉组件和检测器组件的单位时间出气量,获得铯束管总的单位时间出气量,根据总的单位时间出气量以及铯束管的工作压强范围,计算得到溅射离子泵的最小抽速,并确定溅射离子泵的结构,最后铯束管各材料单位面积平均出气率,制定铯束管除气工艺。由此得到的铯束管的真空度满足设计要求,且成本低。
公开/授权文献
- CN107577138A 一种密封铯束管的真空设计方法 公开/授权日:2018-01-12