一种密封铯束管的真空设计方法
摘要:
本发明公开了一种密封铯束管的真空设计方法。使用本发明能够以较小的成本获得理想的真空度或压强,提高了铯束管的研制成功率。本发明首先根据铯原子束流强度与铯束管内压强关系曲线,获得铯束管的工作压强范围,然后根据铯束管的静态放置时间要求,获得铯束管各组件在静态放置时的材料单位时间出气量及材料单位面积平均出气率,并结合加电后铯炉组件和检测器组件的单位时间出气量,获得铯束管总的单位时间出气量,根据总的单位时间出气量以及铯束管的工作压强范围,计算得到溅射离子泵的最小抽速,并确定溅射离子泵的结构,最后铯束管各材料单位面积平均出气率,制定铯束管除气工艺。由此得到的铯束管的真空度满足设计要求,且成本低。
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