发明公开
- 专利标题: 一种新型真空微电子压力传感器
- 专利标题(英): Novel vacuum microelectronic pressure sensor
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申请号: CN201710726920.5申请日: 2017-08-23
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公开(公告)号: CN107588871A公开(公告)日: 2018-01-16
- 发明人: 强俊 , 阜稳稳 , 孔智慧 , 陈恩涛 , 盛周璇 , 彭壮 , 李远洋
- 申请人: 安徽工程大学
- 申请人地址: 安徽省芜湖市鸠江区北京中路8号
- 专利权人: 安徽工程大学
- 当前专利权人: 东莞市明力电子有限公司
- 当前专利权人地址: 523000 广东省东莞市厚街镇厚街大新路1号201室
- 代理机构: 北京风雅颂专利代理有限公司
- 代理商 杨红梅
- 主分类号: G01L1/16
- IPC分类号: G01L1/16 ; G01L9/08
摘要:
本发明公开了一种新型真空微电子压力传感器,包括传感器主体,传感器主体包括定位底座和壳体,定位底座表面内部设置有两个联通槽,联通槽内部设置有电极引线,电极引线一端和引线端子连接在一起,电极引线另一端和金线电极连接在一起,金线电极分别和第一硅膜片、第二硅膜片电性连接在一起,第二硅膜片安装在硅杯表面,硅杯表面设置有放射尖端,第一硅膜片、第二硅膜片之间相互对应,定位底座内部设置有进气通道,第一硅膜片表面设置有弹性硅片,进气通道通过分支管将气体排入到弹性硅片表面,壳体顶端设置有传压片,该装置不仅可以检测外部的直接接触压力,而且可以精确的检测气流产生的微小压力,实用性强,值得推广。
公开/授权文献
- CN107588871B 一种真空微电子压力传感器 公开/授权日:2019-10-01