发明授权
- 专利标题: 传感器的制造方法及传感器
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申请号: CN201710586335.X申请日: 2017-07-18
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公开(公告)号: CN107607152B公开(公告)日: 2020-05-15
- 发明人: 赖建文
- 申请人: 上海申矽凌微电子科技有限公司
- 申请人地址: 上海市闵行区虹梅南路2588号1幢A320室
- 专利权人: 上海申矽凌微电子科技有限公司
- 当前专利权人: 上海申矽凌微电子科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 200241 上海市闵行区紫星路588号2幢366室
- 代理机构: 上海汉声知识产权代理有限公司
- 代理商 郭国中
- 主分类号: G01D21/02
- IPC分类号: G01D21/02
摘要:
本发明提供了一种传感器的制造方法,包括气敏和湿敏器件形成步骤;所述气敏和湿敏器件形成步骤包括器件区域形成步骤、器件构成步骤;所述器件区域形成步骤包括湿敏器件区域形成步骤、气敏器件区域形成步骤;所述器件构成步骤包括湿敏器件形成步骤、气敏器件形成步骤。本发明还提供了一种传感器,所述传感器是利用上述的传感器的制造方法制成的传感器。本发明将湿敏电容和气敏电阻用完全兼容的工艺制作在同一硅片上,不需要特殊工艺,使得结构简单可靠。气敏材料的注入和形成采用自对准工艺,使得气敏图形稳定,尺寸一致。只需低于400℃的低温来处理的气敏材料,与常规半导体铝布线工艺兼容,不需要用到如金等贵金属,降低成本等有益效果。
公开/授权文献
- CN107607152A 传感器的制造方法及传感器 公开/授权日:2018-01-19