双面SiP的三维封装结构的制造方法
摘要:
本发明涉及一种双面SiP的三维封装结构的制造方法,所述方法包括以下步骤:步骤一、取一临时载板;步骤二、在临时载板上贴装核心转接板;步骤三、在核心转接板正面贴装扇出型晶圆级封装结构、第一被动元件和第一3D导电部件;步骤四、塑封作业;步骤五、机械研磨露出第一3D导电部件并移除临时载板;步骤六、核心转接板背面贴装芯片、第二被动元件和第二3D导电部件;步骤七、塑封,植球作业;步骤八、下一步封装制程或者切割成单颗产品,完成测试。本发明能够使用预制的窄中心距3D导电部件成为堆叠封装的支撑结构,可以降低封装模组的尺寸高度,提高封装模组的高频性能以及高度设计和翘曲控制的灵活性。
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