基于复合介质栅的双器件光敏探测单元、探测器及其方法
Abstract:
本发明公开了一种基于复合介质栅的双器件光敏探测单元、探测器及其方法。其中,光敏探测单元包括复合介质栅MOS‑C部分和复合介质栅MOSFET部分,这两部分形成在同一P型半导体衬底的上方,并共用电荷耦合层。多个上述光敏探测单元在同一P型半导体衬底上排成阵列形成探测器,探测器中相邻单元像素之间通过深槽隔离区以及隔离区下方的P+型注入区来实现隔离。探测时,复合介质栅MOS‑C部分的P型半导体衬底感光,然后将光电子耦合到电荷耦合层,光电子信号通过复合介质栅MOSFET部分进行读取。本发明可以很好地实现光信号的探测,具有较好的弱光响应和线性度,同时没有明显的饱和现象,有比较大的动态范围和比较高的量子效率。
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