发明公开
- 专利标题: 一种用于低功耗高灵敏度甲烷传感器的气体传感材料
- 专利标题(英): Gas sensing material for low-power-consumption and high-sensitivity methane sensor
-
申请号: CN201710868601.8申请日: 2017-09-22
-
公开(公告)号: CN107673355A公开(公告)日: 2018-02-09
- 发明人: 邬建敏 , 刘冬 , 栾春燕 , 孔洋波 , 马奔
- 申请人: 杭州汇健科技有限公司 , 浙江大学
- 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区华星路96号瑞利大厦407
- 专利权人: 杭州汇健科技有限公司,浙江大学
- 当前专利权人: 杭州汇健科技有限公司,浙江大学
- 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区华星路96号瑞利大厦407
- 主分类号: C01B33/02
- IPC分类号: C01B33/02 ; C01G23/053 ; G01N27/12
摘要:
本发明公开了一种用于低功耗高灵敏度甲烷传感器的气体传感材料,包括一维硅纳米结构和二氧化钛壳层,该传感材料包括以下制备步骤:(1)通过金属辅助化学刻蚀法制备一维硅纳米结构。(2)通过滴涂、浸涂、旋涂二氧化钛溶胶和物理气相沉积法中的一种使二氧化钛均匀的修饰在一维硅纳米结构上。(3)通过高温退火形成一维硅纳米结构和二氧化钛的核壳型结构,所述核壳型结构实现室温下对甲烷的电阻式超灵敏气体传感。该甲烷传感材料具有响应灵敏度高,恢复性好,功耗低、可以室温使用的优点。