发明授权
- 专利标题: 一种前级真空系统以及抽真空控制方法
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申请号: CN201710794374.9申请日: 2017-09-06
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公开(公告)号: CN107676241B公开(公告)日: 2019-03-22
- 发明人: 刘大猛 , 张晨辉 , 王婷 , 雒建斌
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构: 北京德琦知识产权代理有限公司
- 代理商 孟旸; 王丽琴
- 主分类号: F04B37/14
- IPC分类号: F04B37/14 ; F04B39/00 ; F04B49/10 ; F04B49/22
摘要:
本发明公开了一种前级真空系统以及抽真空控制方法。本发明中,仅采用一个前级真空泵通过主干路管道向各个分支管道及真空应用系统进行抽真空。与现有技术相比,仅需要一台前级真空泵即可完成对多路真空应用系统的前级抽真空操作,降低了成本,同时,因为通过管道连接,真空泵可以放到距离各个真空应用系统十几米至几十米远处,进而减少了空间占用,减轻了工作噪音,另外,在真空泵与管道以及管道与真空应用系统的连接处加装双波纹管,进而大幅降低从真空泵传递到真空应用系统的震动,本发明实施例中采用的总控制机柜连接中转站、中转站连接临近的子系统及下一个中转站的分层次布线方式使得线路简洁。
公开/授权文献
- CN107676241A 一种前级真空系统以及抽真空控制方法 公开/授权日:2018-02-09