发明公开
- 专利标题： 液体分配系统、装置和方法
- 专利标题（英）： Liquid-Dispensing System, Apparatus and Method
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申请号： CN201710660947.9申请日： 2017-08-04
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公开(公告)号： CN107688356A公开(公告)日： 2018-02-13
- 发明人: C·伊莱曼 , K·皮尔希 , H·普里斯
- 申请人： 英飞凌科技股份有限公司
- 申请人地址： 德国瑙伊比贝尔格市
- 专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人： 英飞凌科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 德国瑙伊比贝尔格市
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 周家新; 蔡洪贵
- 优先权： 102016114607.2 2016.08.05 DE
- 主分类号： G05D7/06
- IPC分类号： G05D7/06
摘要：
一种液体分配系统，包括构造成能够分配液体的至少一个喷嘴。液体分配系统包括至少一个传感器模块，其构造成能够提供传感器信号，所述传感器信号包括关于是否由所述至少一个喷嘴分配了液体的信息。所述至少一个传感器模块的至少一部分邻近于喷嘴定位。
公开/授权文献
- CN107688356B 半导体液体分配系统和方法 公开/授权日：2021-08-03
