本发明提供了一种扫描探针及其制备方法。所述扫描探针包括：衬底，包括平板部以及由所述平板部的一端延伸的呈针形的凸出部；静电探针，设置于所述凸出部之上；单电子晶体管，设置于所述平板部之上且与所述静电探针相对。所述制备方法包括：形成静电探针和单电子晶体管；形成第二子平板部和针形的第二子凸出部；形成第一子平板部和针形的第一子凸出部，并且使所述第一子凸出部的边沿超出所述第二子凸出部的边沿、使所述第一子平板部的边沿超出所述第二子平板部的边沿。本发明提供的扫描探针侧向刻蚀小、形貌好，可实现高速、高灵敏度、高分辨率电荷探测，其制备方法工艺简单，成品率高。