粒子状物质传感器及包括其的废气净化系统
摘要:
本发明提供粒子状物质传感器。本发明的例示性实施例的粒子状物质传感器包括:绝缘基板;第一电极部,形成于上述绝缘基板的一面,包括边缘电极及不与上述边缘电极电连接的多个隔开电极;第二电极部,在上述绝缘基板的内部配置成与上述第一电极部间隔开,包括以可测定与上述第一电极部之间的静电容量的方式相互电连接的多个电容电极;以及加热部,配置于上述绝缘基板的内部,提供用于去除在感应部堆积的粒子状物质的热量,上述隔开电极包括堆积粒子状物质的上述感应部和用于测定静电容量的电容部,当粒子状物质堆积时,上述隔开电极和边缘电极相互电连接,从而可测定上述第一电极部与第二电极部之间的静电容量。
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