带电粒子检测器
摘要:
本实施方式所涉及的带电粒子检测器(1)在组合具有偏角的MCP(10)和PD(80)的结构中,为了与现有技术相比更加提高响应特性,具备夹着聚焦电极(60)而配置的MCP和PD。MCP具有分别仅倾斜了偏角(θ)的多个贯通孔,以相对于MCP的中心轴(AX1)电子入射面的中心沿偏角方向(S3)仅偏离规定距离的方式,PD被偏心配置。
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