发明授权
- 专利标题: 带电粒子检测器
-
申请号: CN201680037897.2申请日: 2016-06-30
-
公开(公告)号: CN107710380B公开(公告)日: 2019-06-18
- 发明人: 须山本比吕 , 小林浩之 , 服部真也
- 申请人: 浜松光子学株式会社
- 申请人地址: 日本静冈县
- 专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人: 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本静冈县
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦
- 优先权: 2015-133538 2015.07.02 JP
- 国际申请: PCT/JP2016/069496 2016.06.30
- 国际公布: WO2017/002936 JA 2017.01.05
- 进入国家日期: 2017-12-27
- 主分类号: H01J49/06
- IPC分类号: H01J49/06 ; H01J43/24
摘要:
本实施方式所涉及的带电粒子检测器(1)在组合具有偏角的MCP(10)和PD(80)的结构中,为了与现有技术相比更加提高响应特性,具备夹着聚焦电极(60)而配置的MCP和PD。MCP具有分别仅倾斜了偏角(θ)的多个贯通孔,以相对于MCP的中心轴(AX1)电子入射面的中心沿偏角方向(S3)仅偏离规定距离的方式,PD被偏心配置。
公开/授权文献
- CN107710380A 带电粒子检测器 公开/授权日:2018-02-16