发明授权
- 专利标题: 掩膜版框架和蒸镀系统
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申请号: CN201711184861.X申请日: 2017-11-23
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公开(公告)号: CN107723658B公开(公告)日: 2024-05-14
- 发明人: 林治明 , 黄俊杰 , 李冬伟 , 王震 , 张健
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号;
- 代理机构: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 滕一斌
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/24
摘要:
本发明公开了一种掩膜版框架和蒸镀系统,属于蒸镀工艺领域。所述掩膜版框架包括平行间隔设置的第一支撑臂和第二支撑臂,所述第一支撑臂和所述第二支撑臂上均设有用于固定掩膜版的固定接触平面,所述第一支撑臂的固定接触平面靠近所述第二支撑臂的第一侧边与所述第二支撑臂的固定接触平面靠近所述第一支撑臂的第二侧边平行,与所述第一侧边和第二侧边在同一平面内且相垂直的方向为第一方向;所述掩膜版包括图形区域和非图形区域,所述第一侧边与所述第二侧边之间的垂直距离大于所述掩膜版的所述图形区域在所述第一方向上的长度。
公开/授权文献
- CN107723658A 掩膜版框架和蒸镀系统 公开/授权日:2018-02-23
IPC分类: