发明公开
CN107727311A 等离子体压力传感器及系统
无效 - 驳回
- 专利标题: 等离子体压力传感器及系统
- 专利标题(英): Plasma pressure sensor and plasma pressure sensing system
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申请号: CN201711248975.6申请日: 2017-11-30
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公开(公告)号: CN107727311A公开(公告)日: 2018-02-23
- 发明人: 李帆 , 王偲臣 , 杜娟 , 童志庭 , 张宏武
- 申请人: 中国科学院工程热物理研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路11号
- 专利权人: 中国科学院工程热物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院工程热物理研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路11号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: G01L23/16
- IPC分类号: G01L23/16 ; G01L27/00
摘要:
本发明提供了一种等离子体压力传感器,包括放电电极,所述放电电极包括两个金属电极和两个设置于所述金属电极表面的绝缘阻挡介质,所述放电电极用于在交流电源的驱动下,在两个绝缘阻挡介质之间产生等离子体。同时,本发明还提供了一种等离子体压力传感系统。能够减少阴极溅射,且不受质量惯性的影响,具有突破兆赫兹高频响应的潜力,能够有效降低电极表面的阴极溅射,防止电极损耗。