等离子体压力传感器及系统
摘要:
本发明提供了一种等离子体压力传感器,包括放电电极,所述放电电极包括两个金属电极和两个设置于所述金属电极表面的绝缘阻挡介质,所述放电电极用于在交流电源的驱动下,在两个绝缘阻挡介质之间产生等离子体。同时,本发明还提供了一种等离子体压力传感系统。能够减少阴极溅射,且不受质量惯性的影响,具有突破兆赫兹高频响应的潜力,能够有效降低电极表面的阴极溅射,防止电极损耗。
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