• 专利标题: 一种用于ESD防护的依靠纵向BJT触发的SCR器件
  • 专利标题(英): Longitudinal-BJT-triggered SCR device used for ESD protection
  • 申请号: CN201710795123.2
    申请日: 2017-09-06
  • 公开(公告)号: CN107731811A
    公开(公告)日: 2018-02-23
  • 发明人: 杜飞波刘继芝刘志伟
  • 申请人: 电子科技大学
  • 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
  • 专利权人: 电子科技大学
  • 当前专利权人: 电子科技大学
  • 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
  • 代理机构: 电子科技大学专利中心
  • 代理商 甘茂
  • 主分类号: H01L27/02
  • IPC分类号: H01L27/02
一种用于ESD防护的依靠纵向BJT触发的SCR器件
摘要:
本发明属于电子技术领域,具体提供一种用于ESD防护的依靠纵向BJT触发的SCR器件。本发明依靠纵向BJT触发的SCR器件(VBTSCR)在传统LSCR器件基础上引入了一条额外的触发通路:通过在第一种导电类型阱区内引入ESD注入层,构成一个纵向结构的基区浮空NPN晶体管;ESD注入层为一种中等掺杂浓度的P型掺杂区,其掺杂浓度介于漏/源重掺杂有源区浓度和阱区掺杂浓度之间;纵向结构的基区浮空NPN晶体管的共发射极集电结雪崩击穿电压BVCEO很小,将其用作SCR的触发器件,可实现SCR器件触发电压的大幅降低,从而实现对先进纳米工艺下的电路提供有效ESD防护。
公开/授权文献
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