一种复相陶瓷蒸发舟及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种复相陶瓷蒸发舟及其制造方法,包括以下步骤:(1)配料混料:混合粉体:硅酸锆粉体、氧化硼粉体、氮化硼粉体、纳米炭黑粉体、氧化铝、氧化钇粉体,按照一定比例加入到去离子水中,加入聚乙烯醇作为粘结剂,强力搅拌混合均匀,得到一定粘度的混合浆料;(2)干燥过筛;(3)预成型;(3)高温烧结。采用该方法制造的复相陶瓷材料室温电阻率分布在500-2000μΩ·cm之间,可加工性和抗氧化性能良好,热导率高,能够用于制造真空镀铝膜工艺用导电蒸发舟,大大提高其工作寿命。
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