Invention Grant
- Patent Title: 混合型CMOS器件及其制作方法
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Application No.: CN201710943188.7Application Date: 2017-10-11
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Publication No.: CN107768309BPublication Date: 2019-12-10
- Inventor: 张良芬 , 徐源竣 , 任章淳 , 吴元均 , 吕伯彦 , 杨伯儒 , 陈昌东 , 刘川
- Applicant: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- Assignee: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- Agency: 深圳市德力知识产权代理事务所
- Agent 林才桂; 闻盼盼
- Main IPC: H01L21/8238
- IPC: H01L21/8238 ; H01L27/092
Abstract:
本发明提供一种混合型CMOS器件及其制作方法。本发明的混合型CMOS器件的制作方法采用低温多晶硅制备PMOS晶体管的有源层,同时采用金属氧化物半导体制备NMOS晶体管的有源层,两种半导体材料混合使用,组成混合型CMOS器件,与现有的采用二维碳纳米管材料或者有机半导体材料来制备PMOS晶体管有源层的方法相比,本发明制得的混合型CMOS器件具有更加优异的电学性能;在制作过程中对第一有源层进行氢化处理,提高第一有源层的电学性能,并且在后续制程中采用快速热退火方法去除第二有源层中的氢污染,保证第二有源层具有良好的电学性能。
Public/Granted literature
- CN107768309A 混合型CMOS器件及其制作方法 Public/Granted day:2018-03-06
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