Invention Grant
- Patent Title: 电解铜镀液组合物及其用法
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Application No.: CN201680022753.XApplication Date: 2016-04-20
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Publication No.: CN107771227BPublication Date: 2019-04-02
- Inventor: 海科·布鲁纳 , 迪尔克·罗德 , 马努埃尔·珀尔勒斯 , 斯文·吕克布罗德 , 德什斯瑞·达尔文 , 尚德拉·尼曼 , 格哈德·施泰因贝格尔
- Applicant: 埃托特克德国有限公司
- Applicant Address: 德国柏林
- Assignee: 埃托特克德国有限公司
- Current Assignee: 埃托特克德国有限公司
- Current Assignee Address: 德国柏林
- Agency: 中原信达知识产权代理有限责任公司
- Agent 刘慧; 杨青
- Priority: 15164344.2 2015.04.20 EP
- International Application: PCT/EP2016/058704 2016.04.20
- International Announcement: WO2016/169952 EN 2016.10.27
- Date entered country: 2017-10-19
- Main IPC: C25D3/38
- IPC: C25D3/38 ; C25D7/00
Abstract:
本发明涉及在用于电子学应用的印刷电路板、IC衬底、半导体器件和玻璃器件的制造中用于铜和铜合金沉积的水性酸性镀液。本发明的镀液包含至少一种铜离子源、至少一种酸和至少一种胍化合物。所述镀液对于凹陷结构的镀铜和铜柱凸块结构的建立特别有用。
Public/Granted literature
- CN107771227A 电解铜镀液组合物及其用法 Public/Granted day:2018-03-06
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