发明公开
- 专利标题: 一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法
- 专利标题(英): Device and method for detecting trace substances in fluid based on synchronized resonance
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申请号: CN201711231656.4申请日: 2017-11-28
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公开(公告)号: CN107796868A公开(公告)日: 2018-03-13
- 发明人: 王东方 , 郑果文 , 杜旭 , 田利峰 , 夏操 , 万胜来 , 王昕 , 杨旭 , 刘欣 , 殷志富
- 申请人: 吉林大学
- 申请人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人: 吉林大学
- 当前专利权人地址: 吉林省长春市前进大街2699号
- 代理机构: 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司
- 代理商 魏征骥
- 主分类号: G01N29/02
- IPC分类号: G01N29/02 ; G01N29/036
摘要:
本发明涉及一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法,属于传感器技术领域。固支梁阵列结构由多根尺寸相同的固支梁组成,包括一根参考梁和至少一根检测梁。不同固支梁的两端通过耦合单元相连,固支梁阵列结构和耦合单元都固定在支撑结构上。每根固支梁和支撑结构的内部都加工有相通的微流道,待测流体经过支撑结构上的流道入口依次流过各根固支梁。参考梁的微流道上沉积惰性材料层,检测梁的微流道上沉积不同的敏感层。在支撑结构下部有压电圆盘,激励阵列结构振动。每根固支梁的上表面沉积有压电层,用于策动阵列结构同步共振和检测信号输出。本发明具有结构新颖、能同时检测多种物质、分辨率高的优点。
公开/授权文献
- CN107796868B 一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法 公开/授权日:2023-12-15