本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示装置，涉及显示技术领域，采用本发明提供的制备方法可以降低形成的薄膜晶体管中有源层内的杂质离子含量，提高薄膜晶体管的性能。该制备方法包括：在衬底基板上方形成栅极、栅绝缘层和有源层的步骤；其中，所述栅极与所述有源层分别形成于所述栅绝缘层的上下两侧；所述有源层中含有杂质离子；所述制备方法还包括：对所述有源层进行退火处理的同时，在所述有源层与所述栅极之间施加电压形成电场，所述电场的方向使所述杂质离子从所述有源层中移动至所述栅绝缘层中。