发明公开
CN107808936A 掩膜装置
无效 - 驳回
- 专利标题: 掩膜装置
- 专利标题(英): Mask device
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申请号: CN201711006867.8申请日: 2017-10-25
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公开(公告)号: CN107808936A公开(公告)日: 2018-03-16
- 发明人: 苏君海 , 龚建国 , 吴俊雄 , 冉应刚 , 柯贤军 , 李建华
- 申请人: 信利(惠州)智能显示有限公司
- 申请人地址: 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
- 专利权人: 信利(惠州)智能显示有限公司
- 当前专利权人: 信利(惠州)智能显示有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省惠州市仲恺高新区新华大道南1号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 叶剑
- 主分类号: H01L51/56
- IPC分类号: H01L51/56 ; C23C14/04 ; C23C14/12 ; C23C14/24
摘要:
本发明涉及一种掩膜装置,包括:掩膜板和遮挡件;掩膜板上均匀开设有若干通孔;遮挡件抵接于掩膜板,遮挡件开设有通口,通口的形状为不规则形状,通口对齐于掩膜板上的部分通孔,且通口与对齐的各通孔连通,遮挡件挡设于掩膜板上的剩余部分通孔。通过在掩膜板上均匀开设的通孔,使得掩膜板各部分具有相同的力学性能,使得掩膜板整体形变一致,避免产生褶皱,而遮挡件的不规则形状的通口能够适应显示屏的异形的AA区,有机材料能够依次通过通口和与通口对齐的通孔蒸镀到基板上,而被遮挡件所遮挡的通孔,则能够有效挡住有机材料,使得基板上形成不规则形状的异形AA区,使得具有异形显示区的显示屏的蒸镀效果更佳。
IPC分类: