- 专利标题: 一种基于电极表面原位生长NiO纳米薄膜的NO2传感器
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申请号: CN201710897155.3申请日: 2017-09-28
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公开(公告)号: CN107817279B公开(公告)日: 2019-10-29
- 发明人: 沈岩柏 , 赵思凯 , 李停停 , 李国栋 , 魏德洲 , 高淑玲 , 韩聪
- 申请人: 东北大学
- 申请人地址: 辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
- 专利权人: 东北大学
- 当前专利权人: 东北大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省沈阳市浑南区创新路195号
- 代理机构: 大连东方专利代理有限责任公司
- 代理商 李娜; 李馨
- 主分类号: G01N27/12
- IPC分类号: G01N27/12
摘要:
发明涉及一种基于电极表面原位生长NiO纳米薄膜的NO2传感器及其制备方法,属于一维金属氧化物半导体材料的气体传感器技术领域。一种基于电极表面原位生长NiO纳米薄膜的NO2传感器,所述传感器由电极元件及均匀原位生长在电极元件表面的NiO薄膜组成,其中,所述NiO薄膜由NiO晶体颗粒构成,所述NiO晶体颗粒为面心立方相晶体结构,直径为20~30nm。该气体传感器在工作温度为150℃时获得对NO2的最大灵敏度,响应和恢复时间短,选择性高,长期稳定性好,有效解决了传统金属氧化物半导体式气体传感器制备工艺流程复杂、选择性与长期稳定性较差等不足,是具有良好发展前景的NO2气体传感器。
公开/授权文献
- CN107817279A 一种基于电极表面原位生长NiO纳米薄膜的NO2传感器 公开/授权日:2018-03-20