发明公开
CN107849404A 用于化学机械平坦化应用的粘合剂
无效 - 驳回
- 专利标题： 用于化学机械平坦化应用的粘合剂
- 专利标题（英）： ADHESIVES FOR CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION APPLICATIONS
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申请号： CN201680044261.0申请日： 2016-06-07
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公开(公告)号： CN107849404A公开(公告)日： 2018-03-27
- 发明人: J·M·博格纳 , D-T·赫塞
- 申请人： 艾利丹尼森公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 艾利丹尼森公司
- 当前专利权人： 艾利丹尼森公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 北京纪凯知识产权代理有限公司
- 代理商 王永伟; 赵蓉民
- 优先权： 62/172,441 2015.06.08 US
- 国际申请： PCT/US2016/036252 2016.06.07
- 国际公布： WO2016/200833 EN 2016.12.15
- 进入国家日期： 2018-01-29
- 主分类号： C09J7/30
- IPC分类号： C09J7/30 ; C09J11/06 ; C09J11/04 ; C09J11/08 ; C09J175/04 ; C09J133/00 ; C09J121/00 ; C09J167/00 ; C09J183/04 ; B24B37/20
摘要：
描述了在化学机械平坦化(CMP)应用中的抛光垫中使用的粘合剂。所述粘合剂包括粘合剂组分并且显示出具体的性质。还描述了含有所述粘合剂的转移带、使用所述粘合剂的CMP垫、以及相关的使用方法。
