在真空室(14)内容纳检查对象的锂离子电池(11)。在真空室(14)的上部连接有初始排气配管(47)和检查排气配管(51)。经由初始排气配管(47)对真空室(14)内进行初始排气而降低至检查压力(Pe)。之后，经由检查排气配管(51)进行检查排气。在检查排气配管(51)的中途连接有传感器单元(16)。穿过检查排气配管(51)的排气气体从流入口向传感器单元(16)的内部流入，通过设置于内部的喷嘴朝向气体传感器的传感面垂直地流动。排气气体穿过气体传感器的内部而从排出口向传感器单元(16)的外部排出。