发明公开
- 专利标题: CuSe化合物旋转靶材的制备方法
- 专利标题(英): CuSe compound rotating target preparation method
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申请号: CN201711027535.8申请日: 2017-10-27
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公开(公告)号: CN107858656A公开(公告)日: 2018-03-30
- 发明人: 孙良成 , 鲁飞 , 刘小鱼 , 李静雅 , 李慧 , 刘树峰 , 娄树普 , 温永清
- 申请人: 包头稀土研究院 , 瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 申请人地址: 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号
- 专利权人: 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人: 包头稀土研究院,瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司
- 当前专利权人地址: 内蒙古自治区包头市稀土高新区黄河大街36号
- 代理机构: 北京康盛知识产权代理有限公司
- 代理商 张良
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; C23C24/04
摘要:
本发明公开了一种CuSe化合物旋转靶材的制备方法,包括:选用无磁管材为基体;利用超音速冷喷涂技术将CuSe粉体在预处理后的基体外表面喷涂,沉积层厚度不超过20mm;再利用冷等静压技术在超高压下进一步提高密度;通过高温烧结获取相应组织结构的旋转靶材毛坯,机加工得到旋转靶材。本发明制取得到的CuSe材料的内部密度均匀,有利于良好镀膜的形成,减少太阳能产品的次品率。
公开/授权文献
- CN107858656B CuSe化合物旋转靶材的制备方法 公开/授权日:2020-09-01