CuSe化合物旋转靶材的制备方法
摘要:
本发明公开了一种CuSe化合物旋转靶材的制备方法,包括:选用无磁管材为基体;利用超音速冷喷涂技术将CuSe粉体在预处理后的基体外表面喷涂,沉积层厚度不超过20mm;再利用冷等静压技术在超高压下进一步提高密度;通过高温烧结获取相应组织结构的旋转靶材毛坯,机加工得到旋转靶材。本发明制取得到的CuSe材料的内部密度均匀,有利于良好镀膜的形成,减少太阳能产品的次品率。
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