Invention Publication
CN107871780A 场效应晶体管结构及其制备方法
无效 - 撤回
- Patent Title: 场效应晶体管结构及其制备方法
- Patent Title (English): Field-effect transistor structure and fabrication method thereof
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Application No.: CN201711155137.4Application Date: 2017-11-20
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Publication No.: CN107871780APublication Date: 2018-04-03
- Inventor: 薛忠营 , 赵兰天 , 赵清太 , 俞文杰 , 狄增峰 , 张苗
- Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Applicant Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- Current Assignee Address: 上海市长宁区长宁路865号
- Agency: 上海光华专利事务所
- Agent 佟婷婷
- Main IPC: H01L29/775
- IPC: H01L29/775 ; H01L29/06 ; H01L21/335 ; B82Y10/00

Abstract:
本发明提供一种场效应晶体管结构及制备方法,制备包括提供基底,于基底表面沉积由至少一层第一材料层及至少一层第二材料层;定义有源区和浅沟槽隔离区;刻蚀有源区形成沟道区及源区和漏区;腐蚀沟道区内的第一材料层或第二材料层,得到至少一条纳米线沟道;于纳米线沟道表面沉积介质层和栅极结构层;于栅极结构层、源区以及漏区表面制作栅电极、源电极以及漏电极,完成所述场效应晶体管的制备。通过上述方案,以堆叠的Si或SiGe材料层形成三维堆叠的环栅纳米线沟道,在相同的平面区域上,增加沟道截面积,增强器件的性能,增强栅控能力并增强器件的稳定性,在减小器件尺寸的同时增强载流子输运能力、提高器件性能,省略源漏掺杂步骤,工艺过程简单。
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