场效应晶体管结构及其制备方法
Abstract:
本发明提供一种场效应晶体管结构及制备方法,制备包括提供基底,于基底表面沉积由至少一层第一材料层及至少一层第二材料层;定义有源区和浅沟槽隔离区;刻蚀有源区形成沟道区及源区和漏区;腐蚀沟道区内的第一材料层或第二材料层,得到至少一条纳米线沟道;于纳米线沟道表面沉积介质层和栅极结构层;于栅极结构层、源区以及漏区表面制作栅电极、源电极以及漏电极,完成所述场效应晶体管的制备。通过上述方案,以堆叠的Si或SiGe材料层形成三维堆叠的环栅纳米线沟道,在相同的平面区域上,增加沟道截面积,增强器件的性能,增强栅控能力并增强器件的稳定性,在减小器件尺寸的同时增强载流子输运能力、提高器件性能,省略源漏掺杂步骤,工艺过程简单。
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L29/00 专门适用于整流、放大、振荡或切换,并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的半导体器件;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒,例如PN结耗尽层或载流子集结层的电容器或电阻器;半导体本体或其电极的零部件(H01L31/00至H01L47/00,H01L51/05优先;除半导体或其电极之外的零部件入H01L23/00;由在一个共用衬底内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L27/00)
H01L29/66 .按半导体器件的类型区分的
H01L29/68 ..只能通过对一个不通有待整流、放大或切换的电流的电极供给电流或施加电位方可进行控制的(H01L29/96优先)
H01L29/76 ...单极器件
H01L29/772 ....场效应晶体管
H01L29/775 .....带有一维载流子气沟道的,如量子线FET
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