低温多晶硅薄膜及晶体管的制造方法
Abstract:
本申请提出一种低温多晶硅薄膜的制造方法,包括:形成一缓冲层在一衬底上;形成一闸电极在所述缓冲层上;形成一图案化垫高层在所述闸电极上,所述图案化垫高层包覆所述闸电极的顶面及侧面;形成一第一防扩散层在所述图案化垫高层上;形成一第二防扩散层在所述第一防扩散层上;形成一硅层在所述第二防扩散层上;对所述硅层进行退火以形成一多晶硅层,所述多晶硅层包括一图案化区域以及一要被移除的区域,所述图案化区域与所述图案化垫高层具有相同的图案,所述图案化区域全部位在所述图案化垫高层的正上方;以及移除所述多晶硅层中所述要被移除的区域,仅保留所述所述图案化区域。
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