Invention Grant
- Patent Title: 低温多晶硅薄膜及晶体管的制造方法
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Application No.: CN201711070813.8Application Date: 2017-11-03
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Publication No.: CN107887275BPublication Date: 2019-07-19
- Inventor: 何怀亮
- Applicant: 惠科股份有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- Assignee: 惠科股份有限公司
- Current Assignee: 惠科股份有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民营工业园惠科工业园厂房1、2、3栋,九州阳光1号厂房5、7楼
- Agency: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司
- Agent 许志勇; 王宁
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L29/786
Abstract:
本申请提出一种低温多晶硅薄膜的制造方法,包括:形成一缓冲层在一衬底上;形成一闸电极在所述缓冲层上;形成一图案化垫高层在所述闸电极上,所述图案化垫高层包覆所述闸电极的顶面及侧面;形成一第一防扩散层在所述图案化垫高层上;形成一第二防扩散层在所述第一防扩散层上;形成一硅层在所述第二防扩散层上;对所述硅层进行退火以形成一多晶硅层,所述多晶硅层包括一图案化区域以及一要被移除的区域,所述图案化区域与所述图案化垫高层具有相同的图案,所述图案化区域全部位在所述图案化垫高层的正上方;以及移除所述多晶硅层中所述要被移除的区域,仅保留所述所述图案化区域。
Public/Granted literature
- CN107887275A 低温多晶硅薄膜及晶体管的制造方法 Public/Granted day:2018-04-06
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IPC分类: