一种硅-蓝宝石压力传感器的温度补偿方法及装置
摘要:
本发明是一种硅‑蓝宝石压力传感器的温度补偿方法及装置,该方法结合硅‑蓝宝石压力传感器温度漂移特性设计了一种结合最小二乘线性拟合及抛物线插值的补偿算法,与传统线性补偿算法相比,该算法得到的压力温度关系曲线更贴近实际压力温度变化规律,因此很好地解决了传统线性补偿算法存在的补偿误差较大的问题,具有比较好的补偿效果。同时本发明提出的补偿装置,将压力传感器和温度传感器设计为一体化结构,一方面简化了传感器结构,另一方面与分体式结构相比,所测温度更接近压力传感器真实工作温度,具有更好的补偿效果。
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