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光检测器
Abstract:
本发明提供一种降低暗电流而不会有损光电流的锗光检测器。具备:硅基板、形成于硅基板上的下部包层、形成于下部包层上的芯层(210)、形成于芯层(210)的一部分的掺杂了p型杂质离子的p型硅板(211)、高浓度地掺杂了p型杂质并起到作为电极的作用的p++硅电极部(212、213)、以及吸收光的锗层(241、242)。还具备:上部包层、锗层的上部的掺杂了n型杂质的n型锗区域、以及电极。本发明在p型硅板(211)上具备两个锗层(241、242),由此,能通过使各锗层的与p型硅板(211)相接的面积小型化,来削弱由穿透位错导致的暗电流。
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