发明公开

半导体装置
摘要:
在二极管部中,存在于芯片的上表面侧设置有P+型的接触区的情况。在该P+型的接触区的整个下部设置有N+型的阴极区的情况下,存在从芯片的下表面向上表面流通的电流集中到该接触区的一部分的问题。本发明提供一种半导体装置,其具备半导体基板、设置于半导体基板的晶体管部、以及与晶体管部相邻地设置于半导体基板的二极管部,二极管部具有第二导电型的阳极区、第一导电型的漂移区、第一导电型的阴极区、沿着预定的排列方向排列的多个虚设沟槽部、沿着多个虚设沟槽部的与排列方向不同的延伸方向设置的接触部、以及设置于延伸方向的接触部的外侧的端部的正下方的下表面侧半导体区。
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