本发明属于一种同时生产超高纯氧硫化碳和高纯二硫化碳的装置及方法；包括带第一调节阀的一氧化碳原料气管道、硫磺原料管道、二硫化碳产品罐和氧硫化碳产品罐，一氧化碳原料气管道和硫磺原料管道分别与反应器的第一原料进口和第二原料进口相连，反应器的出口与缓冲罐相连，缓冲罐顶部的气体出口与第一精馏塔的进口相连，第一精馏塔的液相出口与第三精馏塔的进口相连，第三精馏塔的液相出口与二硫化碳产品罐相连；所述第一精馏塔的气相出口与第二精馏塔的原料进口相连，第二精馏塔的液相出口与氧硫化碳产品罐相连；通过三塔式复合精馏过程提取纯度不低于99.999％的氧硫化碳，同时将二硫化碳纯度提高至99.99％的优点。