大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法
摘要:
本发明提供了一种大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法,制备的氮化铝陶瓷基板具有高致密度、高热导率、表面平整、翘起度小等优点。此工艺为一次成型增加了生产效率,降低生产成本。本发明采用不同烧结助剂体系有效降低了氮化铝的烧结温度,采用优化的排胶和烧结制度,大大减少了排胶时间和烧结保温时间。制备出了高致密的氮化铝陶瓷。本发明采用特殊的叠片方式有效降低了素坯中的残余应力,结合重物压平处理和使用抛光的氮化硼匣钵,制备出的基板表面平滑且翘曲度小。本发明实现了大尺寸氮化铝陶瓷基板一次成型,无需对陶瓷基板磨平处理,提高了生产效率、节约了生产成本、有助于氮化铝基板在更多领域应用的推广。
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