发明公开
CN107986794A 大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of large-size aluminum nitride ceramic substrate
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申请号: CN201711222078.8申请日: 2017-11-29
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公开(公告)号: CN107986794A公开(公告)日: 2018-05-04
- 发明人: 施鹰 , 丁毛毛 , 汪暾 , 贾颍飞 , 谢建军 , 雷芳 , 章蕾
- 申请人: 上海大学
- 申请人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 专利权人: 上海大学
- 当前专利权人: 上海大学
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区上大路99号
- 代理机构: 上海上大专利事务所
- 代理商 顾勇华
- 主分类号: C04B35/581
- IPC分类号: C04B35/581 ; C04B35/64 ; B28B3/00
摘要:
本发明提供了一种大尺寸氮化铝陶瓷基板的制备方法,制备的氮化铝陶瓷基板具有高致密度、高热导率、表面平整、翘起度小等优点。此工艺为一次成型增加了生产效率,降低生产成本。本发明采用不同烧结助剂体系有效降低了氮化铝的烧结温度,采用优化的排胶和烧结制度,大大减少了排胶时间和烧结保温时间。制备出了高致密的氮化铝陶瓷。本发明采用特殊的叠片方式有效降低了素坯中的残余应力,结合重物压平处理和使用抛光的氮化硼匣钵,制备出的基板表面平滑且翘曲度小。本发明实现了大尺寸氮化铝陶瓷基板一次成型,无需对陶瓷基板磨平处理,提高了生产效率、节约了生产成本、有助于氮化铝基板在更多领域应用的推广。
IPC分类: