Invention Grant
- Patent Title: 一种延长A-面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法
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Application No.: CN201711221338.XApplication Date: 2017-11-29
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Publication No.: CN108007982BPublication Date: 2020-02-07
- Inventor: 杜志伟 , 王军强
- Applicant: 河北宇天昊远纳米材料有限公司
- Applicant Address: 河北省石家庄市藁城区经济技术开发区丰产路68号
- Assignee: 河北宇天昊远纳米材料有限公司
- Current Assignee: 河北宇天昊远纳米材料有限公司
- Current Assignee Address: 河北省石家庄市藁城区经济技术开发区丰产路68号
- Agency: 天津翰林知识产权代理事务所
- Agent 付长杰
- Main IPC: G01N27/26
- IPC: G01N27/26
Abstract:
本发明涉及一种延长A‑面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法,该方法的过程是:1)在A‑面蓝宝石进行化学机械抛光过程中,取A‑面蓝宝石窗口抛光液,并用Zeta电位分析仪测量电位,监测A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位变化情况;2)当监测到A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位绝对值不大于18mv时,直接向正在使用的A‑面蓝宝石窗口抛光液中添加非离子表面活性剂,当添加至A‑面蓝宝石窗口抛光液Zeta电位绝对值不小于25.0mv时停止添加,然后每隔0.5‑1.5小时再次监测Zeta电位,重复上述过程;所述非离子表面活性剂为加入后能提高抛光液Zeta电位,且不会与抛光液发生副反应的脂肪酸甲酯乙氧基化物、十二烷基聚乙二醇羧酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。
Public/Granted literature
- CN108007982A 一种延长A-面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法 Public/Granted day:2018-05-08
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