一种延长A-面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法
Abstract:
本发明涉及一种延长A‑面蓝宝石窗口抛光液使用寿命的方法,该方法的过程是:1)在A‑面蓝宝石进行化学机械抛光过程中,取A‑面蓝宝石窗口抛光液,并用Zeta电位分析仪测量电位,监测A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位变化情况;2)当监测到A‑面蓝宝石窗口抛光液的Zeta电位绝对值不大于18mv时,直接向正在使用的A‑面蓝宝石窗口抛光液中添加非离子表面活性剂,当添加至A‑面蓝宝石窗口抛光液Zeta电位绝对值不小于25.0mv时停止添加,然后每隔0.5‑1.5小时再次监测Zeta电位,重复上述过程;所述非离子表面活性剂为加入后能提高抛光液Zeta电位,且不会与抛光液发生副反应的脂肪酸甲酯乙氧基化物、十二烷基聚乙二醇羧酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。
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