发明授权
- 专利标题： 蒸镀源和蒸镀装置以及蒸镀膜制造方法
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申请号： CN201680054843.7申请日： 2016-09-20
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公开(公告)号： CN108026630B公开(公告)日： 2020-07-07
- 发明人: 井上智 , 川户伸一 , 二星学 , 小林勇毅
- 申请人： 夏普株式会社
- 申请人地址： 日本大阪府
- 专利权人： 夏普株式会社
- 当前专利权人： 夏普株式会社
- 当前专利权人地址： 日本大阪府
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 池兵
- 优先权： 2015-187431 2015.09.24 JP
- 国际申请： PCT/JP2016/077623 2016.09.20
- 国际公布： WO2017/051790 JA 2017.03.30
- 进入国家日期： 2018-03-21
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; H01L51/50 ; H05B33/10 ; H05B33/14
摘要：
本发明提供材料利用效率比以往高的蒸镀源。蒸镀源(10)包括：蒸镀颗粒射出单元(30)，其具有：各自具有至少1个蒸镀喷嘴(32、52)且在垂直方向上彼此隔开间隔地叠层的多段的喷嘴单元、和设置在各段的蒸镀喷嘴之间的至少1个空间部(43)；和与至少1个空间部(43)连接的真空排气单元(14)。
公开/授权文献
- CN108026630A 蒸镀源和蒸镀装置以及蒸镀膜制造方法 公开/授权日：2018-05-11